超声波检测是检测MLCC内部缺陷的主要方法之一。通过超声波的穿透和反射特性，可以准确地检测出MLCC内部的微小缺陷，如空洞、裂纹和分层等。使用超声显微镜（如德国PVA的UT300型）进行检测，并通过计算等效焦距和水程等参数来选择最佳检测频率，通常50MHz是最佳的筛选频率。
X射线检测是一种常用的MLCC性能测试方法，通过分析X射线通过MLCC后的穿透程度，来检测MLCC的内部结构是否正常。这种方法可以检测出MLCC的内部缺陷，如裂纹、气泡、分层等，对于保证MLCC的质量和性能具有重要作用。
对于外部缺陷，通常采用显微镜手动检查或自动外观筛选设备进行检测。而内部缺陷则可以通过显微镜观察和金相剖面法进行分析。
